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真空與壓力控制模塊

真空泵組：干式螺桿真空泵，極限真空度≤5kPa

穩(wěn)壓系統(tǒng)：PID自動調(diào)節(jié)，壓力波動±1%

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概述

●真空泵組

采用無油干式螺桿真空泵，極限真空度≤5kPa，耐腐蝕鈦合金轉(zhuǎn)子搭配陶瓷涂層腔體，實現(xiàn)無污染、低噪音運行。支持連續(xù)抽吸含微顆粒氣體，適配制藥溶劑回收、電子特氣處理等對潔凈真空要求嚴苛的場景。

●穩(wěn)壓系統(tǒng)

集成高精度PID算法與快速響應閥門組，實時調(diào)節(jié)系統(tǒng)壓力。多級緩沖設計兼容真空至正壓全范圍調(diào)控，確保蒸發(fā)過程穩(wěn)定性，滿足精細化工、高純度材料合成等對壓力敏感的工業(yè)化生產(chǎn)需求。

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